硅片检测标准是什么?百检网硅片检测机构提供材料检测服务,百检工程师根据客户硅片检测需求提供硅片检测方案,包括项目、执行标准、检测流程周期等,以下是硅片检测一些参考标准。
检测标准
GB/T6616-2009半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法
GB/T6617-2009硅片电阻率测定扩展电阻探针法
GB/T6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T6619-2009硅片弯曲度测试方法
GB/T6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T6621-2009硅片表面平整度测试方法
GB/T11073-2007硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T12965-2018硅单晶切割片和研磨片
GB/T13388-2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T14140-2009硅片直径测量方法
百检检测服务流程
1.样品提供
2.样品接收
3.样品处理
4.检测分析
5.结果报告等
关于硅片检测内容大致介绍到这里。百检网材料检测机构,如果您有硅片检测需求,欢迎咨询。
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